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【国产】单压电变形镜
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商品说明
单压电变形镜 单压电变形镜由一层压电材料驱动高平面度镜面，具有大变形、高响应、低驱动电压、高稳定性、定制化服务等特点。 通过独创的偏置驱动技术可以在正向电压下实现双向像差校正，提升变形镜的性能。
该单压电变形镜由一层压电材料驱动高平面度镜面。通过独创的偏置驱动技术在正向电压下实现双向的像差校正能力，提升了变形镜性能。61（+1）单元变形镜致动器分布如图一所示，阴影部分为20mm有效校正口径。受到固支边界的约束，当62号环形电极施加电压时，变形镜产生一个整体的凹曲面；当内部61电极阵列电极（1-61号）施加电压时，变形镜产生凸曲面，当对环形电极和61单元电极阵列施加恰当的电压时，两者产生的变形效果相互抵消，在有效口径内的镜面为平面。根据这一原理，变形镜初始工作状态给内部61单元致动器阵列（用于像差校正）施加50V，62号环形电极（仅作偏置使用，不用于像差校正）施加约50 V工作电压，此时镜面基本平整，作为初始平面。在此平面上，61单元致动器在0-100V下工作即可等效为-50 V到50 V的变形，只用单极性电压实现正负两个方向的变形，满足波前像差补偿的要求。单极性电压避免压电陶瓷退极化，性能更稳定。实物照片如图2所示。 变形镜可在0 - 150 V电压下工作（75 V作为初始电压）获得较大的变形量和校正幅值，但0 - 100V电压（50V作为初始电压）能够满足大部分应用场合，建议常规应用使用0 - 100 V工作电压。
图一 61（+1）单元20mm口径变形镜致动器分布图
图二 61（+1）单元变形镜实物图
变形镜由一层压电材料驱动高平面度镜面。通过独创的偏置驱动技术在正向电压下实现双向的像差校正能力，提升了变形镜性能。61（+1）单元变形镜致动器分布如图三所示，阴影部分为15 mm有效校正口径。受到固支边界的约束，当 62号环形电极施加电压时，变形镜产生一个整体的凹曲面；当内部 61电极阵列电极（1-61 号）施加电压时，变形镜产生凸曲面，当对环形电极和 37 单元电极阵列施加恰当的电压时，两者产生的变形效果相互抵消，在有效口径内的镜面为平面。根据这一原理，变形镜初始工作状态给内部 61单元致动器阵列（用于像差校正）施加 50V ，62 号环形电极（仅作偏置使用，不用于像差校正）施加约 50 V工作电压，此时镜面基本平整，作为初始平面。在此平面上， 61 单元致动器在 0 - 100 V 下工作即可等效为-50 V 到 50 V 的变形，只用单极性电压实现正负两个方向的变形，满足波前像差补偿的要求。单极性电压避免压电陶瓷退极化，性能更稳定。实物照片如图四所示，尺寸为 55 * 55 * 40 mm。
图三 61（+1）单元15 mm变形镜致动器分布图
图四 61（+1）单元变形镜外观尺寸：55 * 55 * 40 mm 产品技术参数
（产品可根据客户需求接受定制） |
